打破國外壟斷的膜厚儀產品
由我公司研制具有自主知識產權的SI-TM606型超高精度石英晶體膜厚儀,打破了多年來西方國家對我國的技術壟斷。產品頻率測量精度達到0.002Hz(國外最好產品為0.0047Hz),成為各科研機構的首先產品。