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      2. 賽恩斯銷售電話
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        替代型號為: TM508石英晶體膜厚監測儀

         

         


        產品特點


        本機采用我公司專有的高速高精度頻率測量技術、計算機控制技術、高超的軟件編程技術及精湛的設計、加工與裝調工藝研發與制造??蔀槟峁┳顑灮暮妥罱洕漠a品。本產品廣泛應用于光學鍍膜機、OLED生產線、半導體IC生產線及其它高精準膜層厚度控制的鍍膜機。整機如下特點:


        • 高速高精度測量。采用本公司特有的頻率測量技術,頻率測量分辨率為0.03Hz6MHz,測量速度為10/S。

        • 終止膜厚控制。控制儀通過對樣品膜層厚度與設定厚度進行比較,來控制樣品擋板或鍍膜源擋板,實現終止膜厚控制。

        • 擋板控制。控制儀可以對所連接的樣品擋板、鍍膜源擋板及探頭擋板實現自動或手動的開關控制。

        • 可編程自動化控制。通過本控制儀可對鍍膜的整個過程進行程序編輯,以實現全自動鍍膜。

        • 圖形化界面、觸屏操作。本控制儀全部采用圖形化界面,觸屏操作。具有操作便捷、顯示直觀易懂等特點,并可提供在線幫助。







         

         

         

         

         

        1.1 測量模塊

         

        項目

        普通精度測量板

        說明

        測量通道

        6通道,獨立運行控制

        固定6通道,可獨立運行,同時顯示.

        頻率測量分辨率

        0.03Hz

        當測量頻率為6MHz

        頻率穩定度

        ±0.1Hz

        頻率更新速度

        10/S

        單次測量時間為

        頻率測量采樣時間

        0.1~10S

         

        膜厚測量分辨率

        0.1?

        鍍膜材料:“鋁”

        速率分辨率

        0.1?/S

        膜厚測量精度

        <0.5%

        水冷探頭,水溫變化<±1

        探頭類型

        單晶片、雙晶片和多晶片

        可選配擋板

        晶片初始頻率

        6MHz

        直徑14mm

         

        1.2 模擬量輸出模塊

        輸出通道數量:       6

        輸出電平標準:       0~10V

        輸出分辨率:         10mV

        穩定度:             ±20mV

        線性度:             ±50mV

        最大輸出電流:       5mA

         

        1.3 開關量輸入輸出模塊

        1.3.1  開關量輸入口:

        輸入電壓標準:       DC24V4mA

        允許輸入范圍:       20.4~28.8V(紋波<5%

        輸入阻抗:               5.6KΩ

        響應時間:               20mS

         

        1.3.2  開關量輸出口:

        輸出類型:        晶體管集電極開路輸出

        額定負載:        DC12、24V0.5A

        負載電壓范圍:10.2~26.4V

        關斷漏電流:    <0.1mA

        響應時間:        <1mS(阻性負載)


        1.4 鍍膜程序編輯

        程序數量:                      1

        程序內鍍膜層數:          14

         

        1.5 顯示與操作

        顯示器規格:    4.3英寸TFT真彩液晶顯示屏

        操作方式:        4線電阻式觸摸屏

        遠程控制方式:RS232、RS485通訊接口

         

        1.6 其它參數

        供電電壓:AC220V

        消耗功率:<30W

        機箱尺寸:483x89x200mm

        存儲溫度:-20~50

        使用溫度:5~35

        環境溫度:<80%(相對溫度)不結露

        海拔高度:0~2000m

         

        用戶手冊:

        /kindeditor-4.0-beta/attached/file/20150426/20150426152754_9641.zip

         

         

         

         

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