沈陽賽恩斯科技有限公司
膜厚儀產品選型表
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功能
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TM106
超小型
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TM206
普通型
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TM508/608（高精度）
模塊化組合型
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TM806模塊化
控制型
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頻率測量精度
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0.03Hz
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0.03Hz | 0.002Hz（高精度）
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膜厚測量分辨率（鋁）
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0.1?
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0.1? | 0.01?（高精度）
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速率測量分辨率（鋁）
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0.1?/S
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0.1?/S | 0.01?/S（高精度）
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測量準確度
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0.5%
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0.5% | 0.2%（高精度）
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基準源
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100MHz普通晶體
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100MHz普通 |恒溫晶體（高精度）
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測量通道數量
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1CH
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6CH
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2、4、6、8CH/
可選裝普通或高精度測量板
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配接振蕩器
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自帶
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SI－ZD200、300、400
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適應晶片
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6MHz
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顯示方式
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可配接TM108顯示器、PLC或PC機
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4.3吋480x272TFT真彩液晶顯示器
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7吋640x480TFT
真彩液晶顯示器
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操作方式
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顯示儀或PC機軟件
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觸摸屏
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觸摸屏
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通訊功能
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RS－232
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RS-232/RS485選裝
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通訊協議
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自定義、Modbus協議
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Modbus協議
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Modbus協議
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供電電壓
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DC5V
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AC220V
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機箱尺寸(mm)
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70x35x20
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215x85x190
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335x140x160
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365x160x160
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膜層控制功能
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無
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無
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有
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注：1m=1x1010 ? 1um=10000 ? 1nm=10 ?
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沈陽科瑞蒂科技有限公司
王文君
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