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      2. 賽恩斯銷售電話
        024-24533636
        關注賽恩斯郵箱
        sciens@sciens-cn.com

        設備用途:
        本鍍膜機主要應用于大專院校、科研機構、企業實驗室及微小產品進行真空鍍膜等真
        空處理的工藝研究、樣板試制、操作培訓和生產。具有如下特點:
        ? 磁控濺射和電阻蒸發雙應用。本機采用可磁控濺射與電阻蒸發免拆卸轉換
        結構,可快速實現蒸發源的轉換。
        ? 桌面小型一體化結構。本機對真空腔體、鍍膜電源及控制系統進行整合設
        計,體積與一臺A3 打印機相仿(不包含真空機組,480x320x460mm,寬
        X 高X 深)
        ? 單、三靶濺射。本機的磁控濺射單元裝有三支2 英寸磁控靶或一支3 英寸
        磁控靶。以適應不同用戶的需求。三靶濺射單元裝有靶擋板及靶切換半開
        關,并與擋板聯動。
        ? 高性能開關式直流濺射電源。本機配裝我公司自行研制的高性能濺射用直
        流電流,由于采用開關電源所以對濺射過程中產生的弧光放電具有非常強
        的抑制作用;電源還具有恒流和恒功率兩種濺射工作方式,以適用不同用
        戶的需求。
        ? 雙蒸發源。蒸發單元中裝有兩組蒸發電極可安裝不同的蒸發源,適應相應
        的鍍膜材料。
        ? 高穩定度恒流蒸發電源。本機配裝0.1%精度蒸發電源,并具有恒流輸出功
        能,對蒸發舟能起到很好的保護作用。
        ? 鍍膜厚度與速率控制。本鍍膜機可選配本公司研制石英晶體膜厚控制儀,
        在鍍膜過程中可對鍍膜速率和膜層厚度進行控制。
        ? 數據記錄。鍍膜機可將采集到的鍍膜數據保存到U 盤,便于用戶分析控制(選
        配)。
        ? 模塊化設計。本機將所有功能單設計成標準化模塊,根據用戶不的需求對
        相應模塊進行組合。以達到最優化的鍍膜環境。并便于用戶維修與維護。
        ? 圖形化操作界面及觸屏控制。本機操作控制采用7 英寸TFT 顯示屏顯示操
        作界面,觸屏操作,實現全圖形化界面,易用易懂。
        二、 技術指標:
        供電電壓: AC220V/2000W
        濺射電源功率: 500W/600V
        濺射靶規格: 2 英寸/3 支(帶擋板)或3 英寸1 支
        蒸發電源功率: 1000W/5V/200A
        蒸發電極有效距離: 55mm
        樣品臺規格: 直徑150mm(可選配旋轉、擋板和偏壓功能)
        膜厚測量精度: 0.1? 或0.01?(高精度型)
        充氣流量: 50SCCM/100SCCM(兩路選配)
        氣源壓力: <0.15KPa
        外接真空機組: 2 升(AC220V)可選配國產擴散泵機組、國產110 機組或進口機組。
        真空接口規格: KF40
        極限真空度: >2.0x10-3Pa、2.0x10-4Pa
        工作真空度: 3~0.5Pa(磁控)
        冷卻水壓力: 0.2~0.4Kpa
        使用環境溫度: <35℃
        使用環境濕度: <75%(相對濕度)不結露
        使用環境海拔: <1500m
        外型尺寸: 480x320x460(寬x 高x 深)不包含真空泵
        重量: 約47Kg 不包含真空泵


        設備標準配置及價格


        序號

        設備名稱

        型號

        數量

         

        1

        真空機組(國產擴散泵)

        110

        1

         

        2

        真空計

        大氣~1.0x10-5 Pa

        1

         

        3

        充氣用高精度微調針閥

        ?6mm卡套

        1

         

        4

        放氣閥

        ?6mm卡套

        1

         

        5

        濺射直流電源(開關型)

        SI-DC500

        1

         

        6

        蒸發電源AC5V/200A

        SI-ZF1000

        1

         

        7

        系統控制器和觸屏

        自制

        1

         

        8

        膜厚儀(0.1?/鋁)

        SI-TM106

        1

         

        9

        單磁控靶單元

        3英寸

        1

         

        10

        蒸發舟

        有效距離>55mm

        兩套

         

        11

        真空腔體(石英管)

        ?180mmX180mm

        1

         

        12

        升降機構

         

        1  

         

        13

        機箱

         

        1  

         

        14

        抽氣管路

         

        1

         

        15

        可調高度樣品臺

        ?160mm

        1

         

        16

         

         

         

         

        17

         

         

         

         

        18

         

         

         

         

         

        合計價格(不含稅)

         

         

         


         


          設備可選配置及價格


        序號

        設備名稱

        型號

        數量

        價格

        1

        換裝:真空機組(進口分子泵)

         

        1

         

         

        換裝:國產分子泵機組

         

        1

         

        2

        換裝:三靶磁控濺射單元(帶擋板,及靶選擇開關)

         

        1

         

        3

        樣品臺增加自轉功能

         

        1

         

        4

        樣品臺增加加熱功能(含溫控電源±1℃)

        室溫~500

        1

         

        5

        樣品臺增加偏壓功能(含電源)

        0~600V/1A

        1

         

        6

        換裝:RF濺射電源(自動調諧)

        SI-RF600

        1

         

        7

        換裝:高精度膜厚儀(0.01?/鋁)

        SI-TM600

        1

         

        8

        增加:流量控制器(國產)最多2

        50SCCM/100SCCM

        1

         

        9

        流量顯示儀

        SI-MF640

        1

         

        10

        換裝:金屬真空腔體(帶觀察窗)

         

        1

         

        11

        增加數據存儲及導出功能

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        系統結構框圖


         

         

        3英寸磁控靶                                                                                鋁靶,濺射區

         

        蒸發電極

         

        樣品臺

         

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