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      2. 賽恩斯銷售電話
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        產品簡介
        SI-PDF300 型系列等離子清洗機,是采高效率電子管作為末級輸出。 ARM
        單片機做整機控制的新型離子清洗機。由于采用ARM 單片機做整機控制,實現真空
        壓力檢測、定時控制和功率控制集成控制??梢詮V泛的用于清洗各種基片材料和晶體
        上納米級的有機污染物。在“HI”功率狀態下最大去除污染物的速度為20nm/min。
        在做外延沉積之前對單晶襯底進行清洗能夠達到更好的沉積效果。并具有如下獨特功
        能:
        1) 三檔功率輸出,按鍵控制;
        2) 內建定時器,可實現定時關機;
        3) 內建真空壓力檢測。
        4) RF 輸出功率檢測,無輸出報警
        5) 體積小重量輕。最大外形尺寸400 x 300 x 300 全機僅10.2kg;
        6) LED 數碼管顯示及輕觸按鍵控制,操作簡單、使用方便。

         

        1 、技術指標
        1.1 RF 電源
        供電電源要求: AC220V / 50Hz(±10%) 最大電流2A
        輸出頻率: 3.0MHz(±1%)
        輸出功率: 7.2、10.2、29.6W三檔
        1.2 清洗腔
        內部尺寸: Φ160 x 190mm
        材質: 高純度石英管
        腔門: 可開關的密封法蘭門(帶充氣裝置)
        1.3 真空系統
        真空泵: 2L旋片式機械泵(選配)
        真空泵接口: ?25
        真空計: 1Pa~1x105Pa(內置)
        三通閥: 1/8英寸
        微調閥: 1/8英寸
        充氣接口: 卡套(Φ6mm)
        氣體種類: N2、Ar、O2 等非腐蝕性氣體,嚴禁充入易燃易爆氣體
        1.4 控制及其它
        顯示器: 一組四位LED數碼管
        最大外形尺寸: 主機 400 x 300 x 300mm ( 寬 x 高 x 深 )
        重量: 主機 10.2kg (不含真空泵)
        使用溫度: 0-40℃ (電源/顯示器)
        濕度范圍: 5%-85%RH.,不結露

         

        用戶手冊

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