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        產品簡介


        SIRF600C型系列射頻電源,是采用大功率電子管作為末級輸出,晶體管做前級驅動,開關穩壓電源作為大功率電子管的燈絲電源,ARM單片機做整機控制,帶觸屏的液晶顯示器作為人機交互部件的新型射頻電源。由于采用開關電源做燈絲電源,射頻晶體管做前級驅動,電網波動對燈絲電流及柵極驅動的影響降到了可以忽略不計 。所以大大的延長電子管的使用壽命。微電腦控制技術的應用使系統的保護更加完善,輸出功率更加穩定。全新設計的散熱系統,加之采用了離心風機作為冷卻系統的風,使得大功率電子管的工作溫度大大降低、工作壽命更長更穩定,并可長時間連續工作。由于采用了觸屏和TFT彩色液晶顯示器,再輔以適當的軟件,所以控制更靈活,人機交互界面更友好,使用更方便。

         匹配器具有自動匹配和跟蹤功能。如果主機設置為真空室負偏壓檢測工作方式,在啟動自動調諧后及手動調諧期間匹配器會自動產生一個-2000V的點火電壓,使得在較高真空度情況下的匹配更容易。

         本電源可以廣泛的用于磁控濺射鍍膜、等離子發生器、濺射、PECVD、等離子刻蝕等方面應用。

         本電源具有如下功能:

         1)   射頻恒功率輸出;

         2)   控制精度高,可達0.5%+1字;

         3)   一鍵式自動調諧匹配及自動跟蹤。

         4)   匹配器可以根據需要自動產生-2000V的點火電壓使匹配更容易。

         5)   數據顯示采用帶觸摸屏的液晶顯示器,顯示控制直觀方便精度高。

         6)   多種多重智能保護及故障檢測功能,運行可靠性高;

         7)   RS232RS485通訊接口,可實現全功能遙控與遙測;

         8)   全新的散熱系統設計,本電源在不堵塞散熱孔的前提下可連續工作。

         9)   體積小重量輕。最大外形尺寸483 x 160 x 350全機僅16.2kg;

         10)  本機具有模擬功率遙控接口,可與控制器組成閉環控制系統。

         

         

           技術指標

         供電電源要求        AC220V(±10% / 50Hz 最大電流10A;

         運行模式:        開環工作恒功率控制(訂貨時可選擇不做說明視為恒功率);

         輸出頻率:        13.56MHz(±0.1%;

         最大允許輸出功率:       500W。短時間工作可輸出600W;

         負載匹配調諧方式:    手動調諧/自動跟蹤調諧(訂貨時可選擇);

         調諧電容顯示方式: 主機數字顯示電容位置(單聯旋入的百分比數);

         調諧電容位置控制精度:1;

         功率控制精度:             0.5%  +1(恒功率控制機型)

         顯示器                        觸摸屏+4.3’ TFT彩色液晶顯示器;

         計算機接口            RS-232/485串行接口/Modbus協議;

         模擬控制接口:              可通過010V的模擬量對電源進行功率控制

         最大外形尺寸:       主機 483 x 89 x 200mm ( x x )

                         匹配器 300x260x130mm( 不含固定腳 )

         重量:           主機 16.2kg  匹配器 2.3kg

        使用溫度        0-40 (電源/顯示器)

         濕度范圍               5%-85%RH.,不結露

         

         

        用戶手冊

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