產品簡介

SI－RF600C型系列射頻電源，是采用大功率電子管作為末級輸出，晶體管做前級驅動，開關穩壓電源作為大功率電子管的燈絲電源，ARM單片機做整機控制,帶觸屏的液晶顯示器作為人機交互部件的新型射頻電源。由于采用開關電源做燈絲電源，射頻晶體管做前級驅動，電網波動對燈絲電流及柵極驅動的影響降到了可以忽略不計 。所以大大的延長電子管的使用壽命。微電腦控制技術的應用使系統的保護更加完善，輸出功率更加穩定。全新設計的散熱系統，加之采用了離心風機作為冷卻系統的風，使得大功率電子管的工作溫度大大降低、工作壽命更長更穩定，并可長時間連續工作。由于采用了觸屏和TFT彩色液晶顯示器，再輔以適當的軟件，所以控制更靈活，人機交互界面更友好，使用更方便。

 匹配器具有自動匹配和跟蹤功能。如果主機設置為真空室負偏壓檢測工作方式，在啟動自動調諧后及手動調諧期間匹配器會自動產生一個-2000V的點火電壓，使得在較高真空度情況下的匹配更容易。

 本電源可以廣泛的用于磁控濺射鍍膜、等離子發生器、濺射、PECVD、等離子刻蝕等方面應用。

 本電源具有如下功能：

 1)   射頻恒功率輸出；

 2)   控制精度高，可達0.5%+1字；

 3)   一鍵式自動調諧匹配及自動跟蹤。

 4)   匹配器可以根據需要自動產生-2000V的點火電壓使匹配更容易。

 5)   數據顯示采用帶觸摸屏的液晶顯示器，顯示控制直觀方便精度高。

 6)   多種多重智能保護及故障檢測功能，運行可靠性高；

 7)   RS232及RS485通訊接口,可實現全功能遙控與遙測；

 8)   全新的散熱系統設計，本電源在不堵塞散熱孔的前提下可連續工作。

 9)   體積小重量輕。最大外形尺寸483 x 160 x 350全機僅16.2kg；

 10)  本機具有模擬功率遙控接口，可與控制器組成閉環控制系統。